水平流單工位超凈臺技術(shù)參數(shù)

水平流單工位超凈臺潔凈工作臺校準(zhǔn)項(xiàng)目及技術(shù)要求
3　校準(zhǔn)條件
3. 1　環(huán)境條件 溫度( 20±5)℃,相對濕度<75%RH。
3. 2　校準(zhǔn)儀器 ( 1)過濾器檢漏儀: 泄漏量程( 0. 0001%～ 100%) ,重 復(fù)性 0. 05%; ( 2)塵埃粒子計(jì)數(shù)器: 測量范圍( 0. 3～ 10) μ m,允許誤 差±30%,流量 28. 3L/min ; ( 3)熱球風(fēng)速儀: 測量范圍( 0. 05～ 30) m/s,允許誤差 ±3%; ( 4)聲級計(jì): 測量范圍( 30～ 100) dB ,允許誤差±1dB; ( 5)振動儀: 頻率( 2～ 500) Hz; 位移 0. 1μ m～ 1. 5mm; 加速度( 0. 01～ 10) g; ( 6) 照度計(jì): 測量范圍( 0～ ±2000) Ix ,允許誤差±4%
4　校準(zhǔn)方法
4. 1　檢漏 向空氣過濾器上游測發(fā) DOP 氣溶膠() ,用 采樣器在過濾器下游例約 2. 5cm 處檢漏儀進(jìn)行巡檢 掃描,巡檢速度≤5cm/s,當(dāng)下游測濃度與上游側(cè)濃度的 比大于 0. 01%時(shí),則認(rèn)為有明顯泄漏,應(yīng)進(jìn)行堵漏。
4. 2　潔凈度 采樣時(shí)采用 28. 3L/min 的塵埃粒子計(jì)數(shù)器,也可采 用小流量塵埃粒子計(jì)數(shù)器,但采樣量得小于 1L。當(dāng)吸風(fēng) 口處的氣溶膠濃度達(dá)到穩(wěn)定條件下,在距主過濾器或整 流格柵出口 250mm 的平行斷面的中心處連續(xù)測試 5 次, 求其平均值。
4. 3　風(fēng)速 在主過濾器或擴(kuò)散板下游 10cm 處的平面,把該平面 面積分成不得少于 12 等分面積,各面積中心點(diǎn)為風(fēng)速測 點(diǎn),各測點(diǎn)之間距離不應(yīng)大于 25cm,用熱球風(fēng)速儀或熱 敏電阻風(fēng)速儀來測量各點(diǎn)風(fēng)速,取平均值為截面風(fēng)速。 風(fēng)速均勻性按下式計(jì)算: Y =Vmax(min)-V V ×100% 式中: Y —風(fēng)速均勻性, %; V—截面風(fēng)速較大值或較 小值,m/s; V—截面平均風(fēng)速,m/s。
4. 4　噪聲 測試噪聲的環(huán)境在室內(nèi)比較開闊的、較硬實(shí)反射地 面上進(jìn)行測量。設(shè)備操作區(qū)開口處,若設(shè)有檔板應(yīng)全部 開啟,特利注意避免氣流產(chǎn)生的風(fēng)壓、振動等帶來的影 響。噪聲測量點(diǎn)應(yīng)布置在工作臺中心,距臺面前沿 20cm 處,高度為 110cm,共測四次,取平均值為測量結(jié)果。
4. 5　振動 潔凈工作臺應(yīng)放置在振動比較小的地面上,避免周 圍環(huán)境環(huán)的影響,工作臺在正常運(yùn)行條件下,將振動分析 計(jì)的拾振器放置于操作面的幾何中心,測出 X、Y、Z 三個(gè) 軸向的總振幅值。
4. 6　照明 在潔凈工作臺橫向的中心線上,均勻布置三個(gè)點(diǎn),用 照度計(jì)測量其照度,取平均值為測量結(jié)果。